一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器

本发明涉及一种基于空心PMMA管复合波导气体传感器，包括密封在两个PMMA板之间的三根从内到外同轴设置的PMMA管，在靠近传感器两端处的管壁上分别设置出气口和进气口；每根PMMA管都具有不同的光栅结构，从内到外依次刻蚀复合型光栅结构、双啁啾型光栅结构和单啁啾复合型光栅结构。与现有技术相比，本发明在太赫兹波入射下，能够实现气体的压强检测，此外，不同直径的组合在一起能够提高太赫兹波检测气体压强的灵敏度。