基于椭圆多模干涉的垂直水平双功能耦合器

一种基于椭圆多模干涉的垂直水平双功能耦合器，包括：椭圆多模干涉仪和分别与之相连的用来进行垂直耦合的光栅耦合器、用来进行端面耦合的端面耦合器，其中：光栅耦合器和端面耦合器分时使用，椭圆多模干涉仪针对一条主输入波导进行优化或者针对两条通道平衡。本发明既可以满足硅晶圆加工过程中的测试，又不会影响最后封装时的效果。