微机电无线信号唤醒接收器及其制备方法

本发明提供了一种用于零功耗的无线信号唤醒接收的基于压电材料的微机电系统的无线信号唤醒接收器，其特征在于，初始压电层和结构压电层固定于硅衬底上，无线信号通过天线进行接收，接收到的信号激励变压器使其发生谐振，变压器会放大天线接收的调制信号，被放大的调制信号连接微机电谐振开关的栅极端，当信号幅值大于谐振开关的阈值时便可激励开关发生谐振，使电源与负载电容间形成通路，负载电容进行充电。微机电谐振开关用于判断是否将信号传到下一级。当信号强度大于阈值时，开关闭合，电容器充电并唤醒下一级电路，反之则不将信号传到下一级电路，完成零功耗的无线信号唤醒接收过程。并提供了两种唤醒接收器的具体制备工艺。
上海科技大学
邵率 | 罗智方 | 吴涛