一种基于Transformer的晶圆缺陷检测方法及系统

本发明公开了一种基于Transformer的晶圆缺陷检测方法及系统，本发明先通过特征金字塔Transformer提取图像特征，在把特征信息输入进检测网络部分，依次通过Transformer编码器、Transformer解码器和预测模块，进行晶圆缺陷的预测，注意力中的K，V两个值先经过空间缩减模块减少计算量，再在Q与K进行矩阵计算之后加入一个可学习的参数矩阵λ将各注意力头部信息混合，然后进行各头部注意力计算，最后拼接各部分注意力信息。
上海电力大学
蒋三新 | 郑亚睿 | 李阳 | 时瑞 | 韩明桥 | 刘毅 | 陈雨 | 朱寅