多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统

一种多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP‑EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP‑EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率，从而提高LPP‑EUV光刻光源的功率输出能力。
中国科学院上海光学精密机械研究所
张宗昕 | 冷雨欣 | 王成 | 赵全忠 | 王关德