敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器及其加工方法

本发明涉及一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器，包括固定连接的敏感膜和传力导杆，敏感膜包括基板、设于基底中心位置的中心板、连接于基板和中心板之间的悬臂梁、设于悬臂梁上的压敏电阻，基板上设有与压敏电阻位置匹配的接触孔，金属引线与压敏电阻在接触孔内形成欧姆接触，并组成惠斯登电桥；中心板一体连接传力导杆。与现有技术相比，本发明具有制备简便、成本低、测量误差小、方便安装等优点。